115 年 115年公務人員高等考試三級考試暨普通考試・機械製造學概要 申論 5請依據光阻的作用；曝光與光罩關係；顯影的目的；解析度與線寬對製程的影響；微影製程失敗對良率的影響，說明光阻塗佈／曝光／顯影等「微影製程」在半導體製程中的功能與重要性。（20 分） 看答案與解析