95 年 095年公務人員高等考試三級考試暨普通考試・半導體工程 申論 6若一光阻塗佈於晶圓上，其圖案如圖二，請於試卷上繪出㈠濕蝕刻，㈡電漿蝕刻，㈢以電鍍製程鍍膜，㈣以熱蒸鍍系統鍍上金屬後，個別之表面圖案為何？（20 分）光阻晶 圓圖二 光阻塗佈於晶圓上之圖案 看答案與解析