113 年 113年公務人員高等考試三級考試暨普通考試・反應工程及單元操作 申論 6圖五描述磷摻雜矽晶圓穩態擴散過程。已知磷初始濃度為零，表層濃度為2.510atoms/cm(C)，及磷在矽晶圓內擴散係數6.510cm/s，As估算需多久時間後在離表面位置1.76 微米的磷濃度為表層濃度1%。提示誤差函數erf(1.8) = 0.989 及erf(1.9) = 0.992。（10 分）圖五 看答案與解析