109 年 109年公務人員高等考試三級考試暨普通考試・材料分析 申論 3㈠X光光電子能譜儀（XPS）常用之光源與光電子訊號特徵為何？（15分）㈡以XPS進行矽晶體表面分析，如何從矽之訊號判斷是否有寄生氧化物（native oxide）生成？又如何從訊號特徵估計出氧化之狀況或程度？（10分） 看答案與解析