申論 1砷化鎵(GaAs)半導體在T=300 K 之本質載子濃度n =1.810cm,其i施體雜質與受體雜質濃度分別為N=210cm及N=0,且為完全解離。×DA假設電子與電洞之遷移率分別為μ=8500 cm2/V-s 及μ=400 cm2/V-s;單位np電量q=1.610C。試求:㈠電子與電洞濃度分別為何?(10 分)㈡若外加電場為E=15 V/cm,其漂移電流密度為何?(10 分)
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申論 2㈠請輔以數學表示式說明影響半導體「導電率(conductivity)」之因素為何?(10 分)㈡載子傳輸包含漂移(drift)與擴散(diffusion)兩種主要機制。請輔以數學表示式說明影響半導體「電流密度(current density)」之因素為何?(10 分)
申論 3p-n 接面二極體與蕭特基能障(Schottky barrier)二極體均可具有整流(rectification)功效。請輔以數學表示式說明影響上述兩者元件之「逆向飽和電流密度(reverse-saturation current density)」之因素分別為何?(20 分)
申論 4矽半導體n 通道金屬-氧化物-半導體場效電晶體(MOS-FET)之閘極長度L = 1.25 μm、電子遷移率μ = 650 cm2/V-s、臨界電壓V = 0.65 V、nth閘極氧化層電容C = 6.9 × 10F/cm,且測得在閘-源極偏壓V = 5 VoxGS之汲極飽和電流(I)值為8 mA。試求閘極寬度(W)為何?(20 分)D, sat
申論 5試就「加熱週期」、「加熱率」、「熱預算」、「製程產能」等四項因素,分別比較傳統爐管熱退火與快速熱退火(RTA)技術之差異?(20 分)