103 年 103年公務人員高等考試三級考試暨普通考試・半導體工程 申論 5說明離子佈植（ion implantation）的基本原理。以離子佈植植入雜質的方法與擴散法比較有何優點？離子佈植後為何需要熱處理？說明離子佈植的通道效應（channeling effect），舉出一種消除的方法。（15 分） 看答案與解析